日立纳米尺度白光干涉仪 VS1800-葡京娱乐场APP - 葡京娱乐场APP_葡京娱乐场官网下载app下载_澳门新葡亰手机版登录网址

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    日立纳米尺度白光干涉仪 VS1800

           白光干涉仪是一种 3D 光学干涉测量系统,它依靠光学干涉的方式成像和测量,具有非接触、 无损、大面积、高分辨率等特点。白光干涉仪采用白光作为光源,通过分光镜将入射光一分为二, 一束光照射到样品并反射回来,另一束光照射到参照面并反射回来。如图一所示,两束反射回来的 光会干涉形成明暗相间的条纹。通过上下移动干涉物镜可以获得不同的干涉条纹,这些条纹与样品 的形貌高低有关,通过分析干涉条纹可以获得样品的形貌信息。

    图一 白光干涉仪的成像原理.gif

    白光干涉仪的成像原理

           VS1800 是日立zui新发布的纳米尺度白光干涉仪,它可以获得样品的 3D 形貌信息,可以通过 软件测量获得样品的高度差,台阶厚度,倾斜角度,粗糙度(线或面),轮廓,多层膜厚等参数。 VS1800 可以适用各种不同硬度、不同导电性、不同透光率、不同尺寸的样品,样品无需进行复杂 的前处理即可观察。

    图二 VS1800 三维测量应用举例.png

    图二 VS1800 三维测量应用举例

           相比于其他显微镜,如激光显微镜、轮廓仪、原子力显微镜、扫描电镜等,VS1800 在 Z 轴分 辨率,台阶测量重复性,测量速度,膜厚测量,操作难度,样品损伤等方面都有明显的优势。相比 于激光显微镜,VS1800 的测量速度更快,面积更大,重复性更好,不会受物镜的影响。相比于原子力显微镜,VS1800 的测量范围更大,速度更快,样品损伤更小。相比于轮廓仪,VS1800 可以 测量面内的三维形貌,分辨率更高,对样品的损伤更小,不会受到探针的干扰。相比于扫描电镜, VS1800 可以获得高度信息,可以测量多层膜厚,测量速度更高,操作更加简便。

    表一 VS1800 与其他显微镜的对比

    表一 VS1800 与其他显微镜的对比.png

           VS1800 除了具有高分辨(Z 轴分辨率最高可达 0.01nm)、大视野(非拼接视野 6.4mm x 6.4mm)、高速(拍照时间 5s)等特点以外,它还具有多层膜测量功能。无需破损样品即可直接测量多层膜的厚度及各层膜界面的形貌及缺陷。

    图三 VS1800 的多层膜测量.png

    图三 VS1800 的多层膜测量



    (来源:天美(中国)科学仪器有限公司)

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