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    日立白光干涉仪之超光滑表面

           所谓超光滑表面,主要具有以下特征:表面粗糙度小于1nm(Ra)、尽可能小的表层和亚表层损伤、表面残余应力极小、晶体表面具有完整的晶体结构。由于在超光滑表面光的反射形式一般为全反射,所以超平滑表面 一般都是很理想的镜面。通过日立的白光干涉仪可以分析常见的超光滑表面。

           1. 蓝宝石

           宝石恒久远,一颗永流传。在加工宝石的过程中,需要严格控制表面的粗糙度,和划痕深度,一般的加工要求为 Ra<0.5nm. 划痕深度<3nm。使得光在宝石多个表面发生镜面反射,宝石在灯光下才能光彩夺目。 

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          2. 集成电路硅基片 

           芯片是有名的神算子,有着惊人的运算能力。无论多么复杂和难缠的数学问题,物理问题, 它都可以轻松帮你找到答案。有种材料,它叫做硅,它是神算子不可缺少的养分。个 6 寸的硅片地基上,设计师可以根据不同的需要,分层施工,逐层架构,最后封装,送个个小芯片到需要他们的地方。这个地基位置是至关重要的,在进去后续工艺之前,硅片的光洁度是定要保证的, 正常的硅片粗糙度都只有零点几个纳米,且大范围内不可以出现明显的划痕。如下图,硅片表面粗糙度约为 0.1nm。 

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    硅片表面形貌

           3. 光学棱镜 

           第三个出现的是我们的棱镜。棱镜时刻伴随着人们的生活。从常用数码设备照相机,镜头。到高科技的望远镜、显微镜、枪 械瞄准镜。棱镜超平滑的表面可以精准的保证光的折射和反射。一般 棱镜的粗糙度也要在 1nm 一下。

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    棱镜表面形貌



    (来源:天美(中国)科学仪器有限公司)

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